●SUSダイヤフラム圧力センサ

?SUSダイヤフラムの上に絶縁膜、ピエゾ抵抗ブリッジ回路が構(gòu)成されています。
?圧力が加わることでダイヤフラムが歪みピエゾ抵抗値が変化します。
?この抵抗値の変化を検出して出力します。

●シリコンダイヤフラム圧力センサ

?単結(jié)晶シリコンダイヤフラムの上にピエゾ抵抗ブリッジ回路が構(gòu)成されています。
?圧力が加わることでダイヤフラムが歪みピエゾ抵抗値が変化します。
?この抵抗値の変化を検出して出力します。