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高真空閥

不銹鋼制高真空L型／直通型閥 XM/XY

    ?不滯留氣體的精密鑄造一體結構
    ?與鋁制高真空L型閥XL系列有安裝互換性（XM系列）

    注）直線型無尺寸16。
系列操作方式軸密封
方式		閥形式材質法蘭
尺寸
XMA/XYA氣控式波紋管密封單作用
（N.C.）		主體：SCS13（相當于SUS304）
波紋管：SUS316L		16～80 注）
XMC/XYC氣控式波紋管密封雙作用主體：SCS13（相當于SUS304）
波紋管：SUS316L		16～80 注）
XMD/XYD氣控式波紋管密封
O形圈密封		單作用
（N.C.）		主體：SCS13（相當于SUS304）
波紋管：SUS316L		25～80
XMH/XYH氣控式波紋管密封手動主體：SCS13（相當于SUS304）
波紋管：SUS316L		16～50 注）

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