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課題?行業(yè)別產(chǎn)品
縫閥
對應(yīng)300mm晶片 平行密封型縫閥 XGTP
-
?長壽命：300萬次（常溫時）
?發(fā)塵量：減少1/5以下（與以前產(chǎn)品相比）
?維護性提高
容易更換波紋管
可通過頂部拆裝門（訂制）
?安全對策
采用機械式端鎖機構(gòu)
對應(yīng)300mm晶片 平行密封型縫閥 XGTP
說明書
系列 查看搜索結(jié)果 XGTP 查看搜索結(jié)果
| 系列 | 使用環(huán)境壓力（Pa） | 使用流體 | 開口窗尺寸 （高×寬）（mm） | 動作壓力 （MPa） |
|---|---|---|---|---|
| XGTP | 大氣壓～10-6 | 惰性氣體 | 50×336 | 0.45～0.6 |
